Die UltiDry wurde für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt und kombiniert robuste Leistung mit hoher Energieeffizienz und Prozessflexibilität.

Die Vakuumpumpen sind darauf ausgelegt, korrosiven Gasen, aggressiven Nebenerzeugnissen und hohen Pulverbelastungen standzuhalten. Ihre ölfreie, mehrstufige Verdichtung gewährleistet eine saubere, trockene Vakuumerzeugung ohne Verunreinigungen. Damit ist die UltiDry ideal für Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD) und physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) geeignet.

Patentiertes Spülsystem und erhebliche Energieeinsparungen

Zu den wichtigsten Innovationen der UltiDry gehört ihr patentiertes Spüleinspritzsystem, das entwickelt wurde, um die Vakuumpumpe durch Ausspülen von Schadstoffen wie Pulver zu schützen. Diese Funktion gewährleistet stabile Leistung und reibungslosen Betrieb, selbst in Prozessen mit hoher Pulverbelastung.

Für Halbleiterfabriken stellt der Energieverbrauch einen großen Kostenfaktor dar. Mit ihrem optimierten mehrstufigen Roots-Design bietet die UltiDry im Vergleich zu anderen Vakuumpumpen ihrer Klasse Energieeinsparungen von bis zu 87 %. Das reduziert nicht nur den CO?-Fußabdruck, sondern unterstützt Kunden auch dabei, ihre Ziele in Sachen Nachhaltigkeit und Kosteneffizienz zu erreichen.

Die Vakuumpumpen arbeiten in einem großen Temperaturbereich von 50 °C bis 270 °C zuverlässig und passen sich flexibel an unterschiedliche Prozessanforderungen an. Damit eignen sie sich gleichermaßen für temperaturempfindliche Beschichtungsprozesse und korrosive Halbleiteranwendungen. Durch einen stabilen Betrieb auch bei schwankenden Temperaturen unterstützt die UltiDry gleichbleibende Produktqualität und lange Wartungsintervalle. Mit einer Kombination aus korrosionsbeständiger Beschichtung, reduziertem Spülgasverbrauch und hoher Energieeffizienz ist die UltiDry eine langlebige, wartungsarme Lösung für anspruchsvolle Produktionsumgebungen.

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Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
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35614 Aßlar
Deutschland

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Über die Busch Group
Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren, Kammern und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die beiden bekannten Marken Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.
Das umfangreiche Produkt- und Serviceangebot umfasst Lösungen für Vakuum-, Überdruck- und Abgasreinigungsanwendungen in allen Branchen, wie zum Beispiel Lebensmittel, Halbleiter, Analytik, Chemie und Kunststoff. Dazu gehören auch die Konzeption und der Bau maßgeschneiderter Vakuumsysteme sowie ein weltweites Servicenetz.
Die Busch Group ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Mehr als 8.000 Mitarbeiter in 47 Ländern weltweit arbeiten für die Gruppe. Der Hauptsitz von Busch befindet sich im baden-württembergischen Maulburg, im Dreiländereck Deutschland-Frankreich-Schweiz.
Die Busch Group produziert in ihren 20 eigenen Werken in China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Indien, Rumänien, der Schweiz, Südkorea, Tschechien, den USA und Vietnam.
Sie hat einen konsolidierten Jahresumsatz von 2 Milliarden Euro.

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